Применение гелия компрессоров1. В основном используется в полупроводниках, служащих защитным газом для испарения, распыления и ионных вакуумных систем в оборудовании для передней части. Химические реакции, которые происходят во время полупроводниковой обработки, обычно основаны на газах или жидкости